摘要：疯狂的石头...

中国梦之声

“钼”成300层+NAND必选项机构：沉积设备迎10亿美元增量市场_我的网站

血战太平洋

一 |

球迷和网友们的喝彩声又冲至了云霄！出现这个激动人心的画面，得归功于张帅。　　当地时间8月23日，半导体行业研究机构SemiAnalysis发文称，NAND闪存制造正从钨转向钼，因为当NAND来到300层以上，钼是必选项。　　SemiAnalysis分析，3D NAND闪存堆叠层数突破300层后，钨字线在电阻、化学兼容性和深孔填充三方面均触及物理极限，钼成为强制替代材料。因此，有人强烈建议，“就算最后没有拿到冠军，也一定要给帅姐一朵小红花，太让中国网球有面子了。三星已于2024年量产，美光2025年跟进，SK海力士计划2026年底推出375层钼工艺产品。”

此前有人形容本周对中国网球来说，是又一至暗时刻！

郑钦文退出了斯图加特500赛；王欣瑜退出了鲁昂250赛；张之臻和布云朝克特退出了慕尼黑500赛，等等。这波汹涌的退赛潮，让球迷和网友无奈地感叹，喝彩声看来要暂时尘封了，因为在巡回赛单打赛场彻底没有了中国球员的身影。其估计，钼在NAND总产能中的占比将从2025年的中个位数百分比，增长至2027年的约30%。

二 | 　　更进一步的，该机构提出，钼沉积设备将在明年迎来超10亿美元的新增市场。　　该机构称，每一次从钨到钼的转换，都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis估计，仅2027年一年，NAND钼沉积设备的销售额就将超过10亿美元，并随着DRAM和逻辑芯片的跟进，到2030年增长至约20亿美元/年。

但是，有人则提议，不要过于悲观，单打无人出战，还有双打，“ 这可是中国网球的传统强项！”

于是，出战斯图加特双打比赛的张帅便成了被重点关注的中国金花，原因只有一点：中国老将从未让人失望过，总是能在关键时刻将中国网球这面大旗举至让人想象不到的高度。

三 |

这次大家对张帅寄予无限信任，35岁的中国老将也没有辜负大家的期待，从首秀开始，有人就曾直言，从张帅身上对外展现出来的那股狠辣劲儿来看，这次在斯图加特真是准备拼了。　　受益格局方面，Lam Research（泛林集团）最先获益，TEL（东京电子）紧随其后；AMAT（应用材料）、ASMI（ASM国际）及Naura（北方华创）则更多受益于后续DRAM和逻辑芯片的转型浪潮。SemiAnalysis表示，完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备（WFE）模型。

四 |

四分之一决赛，对阵二号种子鲍里妮和埃拉尼组合，张帅搭档亚历山德洛娃，在一只脚已经在悬崖边悬空的情况下，硬是顶住了抢十4比8落后的巨大压力，惊险地将自己予以拯救，挺进了斯图加特双打四强。

五 |

在半决赛同梅里查尔和萨姆索诺娃这对强档组合竞争一张决赛门票，张帅在亚历山德洛娃的配合下，同样打得韧劲十足。

当时看到对手组合拿到赛点后，直播间立即有人惊呼，“看来躲得了初一，躲不过十五，帅姐在四分之一决赛逃过了一劫，这次应该没这么好命，恐怕要被挡在决赛门外了。　　钼渗透率在高层数NAND中提升，本质是为延续NAND单位Bit成本下降曲线。”

可是，张帅却上演了“我命由我不由天”的剧本，在这么大的压力下，同亚历山德洛娃默契配合，最终闯关成功，惊险地击败了强大的对手组合，挺进了斯图加特500赛决赛。　　300层NAND主要在结构上升级，聚焦超高深宽比通道孔刻蚀、多次Stack堆叠、晶圆翘曲控制以及Overlay精度控制。

赛后看到张帅和亚历山德洛娃那开心的样子，直播间有人表示，自己已经无法抑制内心的激动，彻底把先前内心的紧张化成了无声的眼泪，为张帅时隔六年重返斯图加特双打决赛而动情飙泪。　　375层乃至400层以后，材料亟需升级，因钨字线会因为字线间距通道孔缩小面临RC延迟快速恶化、WF残氟导致介质损伤、漏电失效率提升以及填充缺陷放大的问题。

2019年，张帅搭档美国姑娘高芙就曾在这站抢车大赛挺进过双打决赛，可惜最终未能夺冠，遗憾拿到了亚军。

“现在帅姐又追平了自己在这站赛事的双打最佳战绩，这次能更进一步，弥补六年前的遗憾吗？”有人说出这句话后，瞬间成了大家热议的话题。而钼凭借更低电阻率、无氟前驱体及无需阻隔层等优势，有望改善RC性能与器件可靠性，为字线和存储孔缩放提供工艺余量，从而延续高层数NAND的成本下降曲线。

一些人说，35岁的张帅在如此高龄还能在这站红土赛事打进决赛，无论最后的结果如何，都堪称完美了，如果再加上在喝彩声中把中国网球这面大旗举起来，仅这两点已经足够了，其它真没什么可奢望的了，张帅随便打就行了；另外一些人则表示，这次绝对有希望。

六 | 　　中银证券表示，SK海力士已完成375层3D NAND生产验证并计划2026年底量产，拟采用钼材料替代钨制作字线，继三星在286层第九代3D NAND中率先导入钼工艺后，两大存储龙头相继切换，钼替代钨趋势确立。

认为张帅有望捧杯，跟她的搭档亚历山德洛娃有关。

俄罗斯名将在单打挺进四强后，很多人还担心，如果亚历山德洛娃最终战胜奥斯塔彭科打进决赛，同时打两场决赛，精力方面肯定会顾不过来，在单双打之间会进行相应的取舍。　　然而，钼的材料加工更为复杂，因为必须以气体形式输送，且前驱物在室温下为固体，需要加热器以确保流动稳定性。　　基于此，300层以上3D NAND字线由钨切换为钼，并不是简单更换靶材或者更换气体材料，而是前驱体供给、ALD沉积腔体、刻蚀、清洗、尾气处理整套工艺链条的重构，原有钨CVD产线硬件无法直接复用，将直接推动晶圆厂资本开支上行，同时设备、特种材料、零部件均迎来变化。

七 |

现在亚历山德洛娃两盘不敌奥斯塔彭科无缘决赛后，这也意味着俄罗斯名将可以将所有的精力都专注于双打决赛了。本来她和张帅的配合就堪称完美，专注度现在又有了保证，自然一切皆有可能。

八 |

可惜这样完美的画面并未出现，张帅和亚历山德洛娃在对阵头号种子达布劳斯基/卢特利芙组合时，最后以两个3比6落败，再次与冠军擦肩而过。　　爱建证券表示，钼导入本质是一次全流程工艺重构，设备链受益有望沿“沉积及前驱体输送→CMP及清洗→刻蚀→量检测”路径传导，工艺难点由沉积向后处理环节延伸。

不过，大家对这样的结果并不介意，张帅在斯图加特已经为中国网球刷足了存在感，加之双打即时世界排名已经重返世界前十，已经赚翻了。其中——　　沉积：成熟的WF钨工艺，Mo沉积需重新建立高深宽比结构下的填充与缺陷控制工艺窗口，同时有望减少阻隔层使用，带动沉积设备及配套工艺升级；　　输送：Mo前驱体通常采用低挥发性固态源，与传统WF气态前驱体体系差异较大，需要新增气化装置、温控管路及精密供气系统，以保障前驱体稳定输送；　　CMP：Mo材料的氧化及表面化学特性不同于传统金属体系，需重新开发CMP研磨液和研磨垫，以满足平坦化、去除速率及缺陷控制要求；　　清洗：Mo导入后残留物及氧化物体系发生变化，高深宽比结构下金属残留和污染控制难度提升，有望推动相关湿法清洗设备及配套化学品验证导入；　　刻蚀环节则需重新建立适配钼材料的工艺窗口，且3DNAND层数持续提升下，刻蚀选择性、侧壁形貌控制及层间均匀性要求进一步提高，有望带动相关刻蚀设备升级需求；　　量检测：Mo量产还需新增膜厚均匀性、填充缺陷、金属残留及电学可靠性等监控项目，有望带动薄膜量测、缺陷检测及电性测试等设备需求增长。　　该机构称，NAND工艺迭代核心从单纯堆叠层数转向材料—设备—工艺协同创新，新材料导入将持续催生沉积、刻蚀、清洗等关键设备迭代升级，Mo字线导入将推动沉积、刻蚀、清洗等关键环节工艺升级，相关设备及零部件厂商有望受益。

现在大家对张帅一通猛夸，还和她被称为百搭有关。

新赛季张帅三进双打决赛，都是和不同的姑娘搭档：阿布扎比携手梅拉德诺维奇；奥斯汀是和美国姑娘凯斯勒合作；斯图加特则是牵手亚历山德洛娃。（来源：网球之家作者：月亮河的星空）。（文章来源：科创板日报）。